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產(chǎn)品詳情
簡單介紹:
FC300 倒裝芯片鍵合機(jī)是至新一代的高精度和高力系統(tǒng),適用于芯片到芯片 – 高達(dá) 100 毫米 – 和芯片到晶圓 – 高達(dá) 300 毫米 – 應(yīng)用,鍵合后精度為 ± 0.3 μm.
FC300 的鍵合力范圍很廣,從 1 到 4000 N。這使其非常適合回流焊和熱壓工藝。
兩個(gè)組件之間的水平在 1 μradian 以內(nèi)的每個(gè)鍵合之前進(jìn)行調(diào)整。
平行度調(diào)整、高分辨率對準(zhǔn)和所有鍵合參數(shù)的完 美控制可實(shí)現(xiàn)亞微米級鍵合后精度。
詳情介紹:
SET法國進(jìn)口FC300倒裝芯片鍵合機(jī)
主要優(yōu)點(diǎn)
-
鍵合后精度為 ± 0.3 μm
-
低/高結(jié)合力
-
完 美的平行度控制
-
封閉氣體,包括甲酸
-
獨(dú)特的視覺系統(tǒng)
-
從研發(fā)到中試線
工藝能力
-
倒裝芯片/芯片鍵合
-
熱壓
-
回流焊
-
粘接 紫外線固化粘合
-
熱聲波
應(yīng)用
-
焦平面陣列 & 紅外、紫外、X光傳感器
-
μLEDs顯示器
-
量子計(jì)算
-
3D互連,內(nèi)存堆疊
-
光電
-
硅光子學(xué)
-
芯片到芯片
-
芯片到晶圓
-
納米壓印光刻(NIL)
主要優(yōu)點(diǎn)
- 鍵合后精度為 ± 0.3 μm
- 低/高結(jié)合力
- 完 美的平行度控制
- 封閉氣體,包括甲酸
- 獨(dú)特的視覺系統(tǒng)
- 從研發(fā)到中試線
工藝能力
- 倒裝芯片/芯片鍵合
- 熱壓
- 回流焊
- 粘接 紫外線固化粘合
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- 芯片到芯片
- 芯片到晶圓
- 納米壓印光刻(NIL)
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