±50 SCCM至±750 SCCM

霍尼韋爾（中國）Zephyr?HAF系列傳感器提供模擬接口，用于讀取指定滿量程流量的氣流
補償溫度范圍。隔熱加熱器和溫度傳感元件可以幫助這些傳感器
提供對空氣或氣流的快速響應。
Zephyr傳感器設計用于測量空氣和其他非腐蝕性氣體的質量流量。標準流量范圍是
可提供±50，±100，±200，±400或±750 SCCM。也可提供定制流量范圍。傳感器完全校準
并通過板載專用集成電路（ASIC）補償溫度。
HAF系列在0°C至50°C [32°F至122°F]的溫度范圍內進行補償，并在
溫度范圍為-20°C至70°C [-4°F至158°F]。至先進的基于ASIC的補償提供模擬
響應時間為1 ms的輸出。
這些傳感器根據傳熱原理運行，以測量質量空氣流量。它們由微橋組成
微電子和微機電系統（MEMS）具有沉積薄膜的溫度敏感電阻器
鉑和氮化硅。 MEMS傳感芯片位于精準且精心設計的氣流通道中
提供可重復的流量響應。